我國(guó)首次建立納米級(jí)角度國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)

　　記者今天了解到，市場(chǎng)監(jiān)管總局近日新批準(zhǔn)二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)3項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，能夠同時(shí)滿(mǎn)足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長(zhǎng)度校準(zhǔn)需求，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”。

　　研制高精度的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是打造高準(zhǔn)確度納米測(cè)量傳遞鏈，提升國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。 二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)，角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成三十六萬(wàn)份。

　　二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm×300μm，在沒(méi)有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上。

　　可應(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)；

　　也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。

　　納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功，實(shí)現(xiàn)了納米測(cè)量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差放大，能夠通過(guò)在線校準(zhǔn)直接將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場(chǎng)，為我國(guó)納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

　　(總臺(tái)央視記者 李晶晶)